FOSB & FOUP Verpackungssystem für Ihre Semiconductor Fab
In der Halbleiterfertigung entscheidet die Verpackung über die Integrität Ihrer Wafer. ABT automatisiert diesen kritischen Prozessschritt vollständig – für reproduzierbare Qualität, Rückverfolgbarkeit und eine Verpackung, die Ihre Produktionsstandards erfüllt.
Ob FOSBs, FOUPs aber auch andere Carrier wie Wafer-Boxen, SFS, HWS – das ABT-System ist flexibel anpassbar und bietet ein sicheres, validiertes Handling auch bei wachsendem Durchsatz und steigenden Reinraumanforderungen.
Die kompakte Bauweise, kombiniert mit präziser Prüf- und Etikettiertechnologie, macht ABT zu einer zukunftsfähigen Lösung für moderne Packing-Prozesse.

FOSB & FOUP Verpackungssystem für Ihre Semiconductor Fab
In der Halbleiterfertigung entscheidet die Verpackung über die Integrität Ihrer Wafer. ABT automatisiert diesen kritischen Prozessschritt vollständig – für reproduzierbare Qualität, Rückverfolgbarkeit und eine Verpackung, die Ihre Produktionsstandards erfüllt.
Ob FOSBs, FOUPs aber auch andere Carrier wie Wafer-Boxen, SFS, HWS – das ABT-System ist flexibel anpassbar und bietet ein sicheres, validiertes Handling auch bei wachsendem Durchsatz und steigenden Reinraumanforderungen.
Die kompakte Bauweise, kombiniert mit präziser Prüf- und Etikettiertechnologie, macht ABT zu einer zukunftsfähigen Lösung für moderne Packing-Prozesse.


100% Dichtheitsprüfung der Schweißnaht der Verpackung

Minimale Zykluszeiten für min. 300 FOSBs / Tag

Präzise Qualitätskontrollen unter anderem durch Cross-Slot-Checks

Synchronisation zu Host-Systemen durch SECS / GEM

100% Luftdicht & Sauber
100% Dichtheitsprüfung der Schweißnaht der Verpackung

Höherer Durchsatz
Minimale Zykluszeiten für min. 300 FOSBs / Tag

Reinraum-Compliance
Präzise Qualitätskontrollen unter anderem durch Cross-Slot-Checks

Maximale Nachvollziehbarkeit
Synchronisation zu Host-Systemen durch SECS / GEM
FOSB & FOUP Verpackungssystem für Ihre Semiconductor Fab
In der Halbleiterfertigung entscheidet die Verpackung über die Integrität Ihrer Wafer. ABT automatisiert diesen kritischen Prozessschritt vollständig – für reproduzierbare Qualität, Rückverfolgbarkeit und eine Verpackung, die Ihre Produktionsstandards erfüllt.
Ob FOSBs, FOUPs aber auch andere Carrier wie Wafer-Boxen, SFS, HWS – das ABT-System ist flexibel anpassbar und bietet ein sicheres, validiertes Handling auch bei wachsendem Durchsatz und steigenden Reinraumanforderungen.
Die kompakte Bauweise, kombiniert mit präziser Prüf- und Etikettiertechnologie, macht ABT zu einer zukunftsfähigen Lösung für moderne Packing-Prozesse.

100% Luftdicht und sauber
100% Dichtheitsprüfung der Schweißnaht der Verpackung
Höherer Durchsatz
Minimale Zykluszeiten für min. 300 FOSBs / Tag
Reinraum-Compliance
Präzise Qualitätskontrollen unter anderem durch Cross-Slot-Checks
Maximale Nachvollziehbarkeit
Synchronisation zu Host-Systemen durch SECS / GEM
FOSB & FOUP Packing: Schritt für Schritt zur automatisierten Perfektion
FOSB & FOUP Packing: Schritt für Schritt zur automatisierten Perfektion

Schritt 1: Identifikation & Slot-Verifikation
Jeder Behälter korrekt erkannt und zugeordnet
FOSBs und FOUPs werden per RFID eindeutig identifiziert. Durch integrierte Cross-Slot-Checks erkennt das System fehlerhafte Belegungen oder Slot-Überschneidungen automatisch. So vermeiden Sie Fehlzuweisungen und schützen Ihre Prozessstabilität.
Funktionen:
• RFID-basierte Identifikation
• Cross-Slot-Verifikation für sichere Slot-Belegung
• Datenabgleich mit Host-Systemen
Schritt 2: Dichtheitsprüfung & Kontrolle
100 % geprüft – für höchste Produktsicherheit
Jede Verpackungseinheit wird vor dem nächsten Schritt auf Dichtheit geprüft. Undichtigkeiten werden erkannt und aussortiert – automatisch und dokumentiert. Das sorgt für Partikelschutz und erfüllt die Anforderungen an kontrollierte Umgebungen.
Funktionen:
• Automatisierte Dichtheitsprüfung
• Prüfung gegen produktspezifische Grenzwerte
• Digitale Prüfprotokolle für jedes Handling
Schritt 3: Etikettierung & Rückverfolgbarkeit
Seriennummer, Status, Chargeninfos – automatisch gelabelt
Alle Verpackungseinheiten erhalten ein manipulationssicheres Etikett mit Seriennummer, Zeitstempel und Prüfergebnis. Die Informationen werden digital gespeichert und stehen für MES, ERP oder Auditierung bereit.
Funktionen:
• Automatisches Labeling mit Serien- und Chargennummer
• Tracking der Behälterbewegungen über SECS/GEM
• Konform mit Reinraumvorgaben
Schritt 4: Verpackung & Übergabe
Standardisiert, hygienisch, automatisiert
Nach bestandener Prüfung wird die Einheit doppelt verpackt. Die Übergabe erfolgt an nachgelagerte Prozesse – ob manuell, per AMR oder vollintegriert in eine bestehende Linie. Alles ohne Unterbrechung, alles dokumentiert. Alle benötigten Informationen können an nachgelagerte Systeme weitergegeben werden (Handshake-Prinzip).
Funktionen:
• Reinraumgerechte Schutzverpackung
• Kompatibel mit AMR-/OHT-Systemen
• > 300 FOSBs/FOUPs pro Tag

Schritt 1: Identifikation & Slot-Verifikation
Jeder Behälter korrekt erkannt und zugeordnet
FOSBs und FOUPs werden per RFID eindeutig identifiziert. Durch integrierte Cross-Slot-Checks erkennt das System fehlerhafte Belegungen oder Slot-Überschneidungen automatisch. So vermeiden Sie Fehlzuweisungen und schützen Ihre Prozessstabilität.
Funktionen:
• RFID-basierte Identifikation
• Cross-Slot-Verifikation für sichere Slot-Belegung
• Datenabgleich mit Host-Systemen
Schritt 2: Dichtheitsprüfung & Kontrolle
100 % geprüft – für höchste Produktsicherheit
Jede Verpackungseinheit wird vor dem nächsten Schritt auf Dichtheit geprüft. Undichtigkeiten werden erkannt und aussortiert – automatisch und dokumentiert. Das sorgt für Partikelschutz und erfüllt die Anforderungen an kontrollierte Umgebungen.
Funktionen:
• Automatisierte Dichtheitsprüfung
• Prüfung gegen produktspezifische Grenzwerte
• Digitale Prüfprotokolle für jedes Handling
Schritt 3: Etikettierung & Rückverfolgbarkeit
Seriennummer, Status, Chargeninfos – automatisch gelabelt
Alle Verpackungseinheiten erhalten ein manipulationssicheres Etikett mit Seriennummer, Zeitstempel und Prüfergebnis. Die Informationen werden digital gespeichert und stehen für MES, ERP oder Auditierung bereit.
Funktionen:
• Automatisches Labeling mit Serien- und Chargennummer
• Tracking der Behälterbewegungen über SECS/GEM
• Konform mit Reinraumvorgaben
Schritt 4: Verpackung & Übergabe
Standardisiert, hygienisch, automatisiert
Nach bestandener Prüfung wird die Einheit doppelt verpackt. Die Übergabe erfolgt an nachgelagerte Prozesse – ob manuell, per AMR oder vollintegriert in eine bestehende Linie. Alles ohne Unterbrechung, alles dokumentiert. Alle benötigten Informationen können an nachgelagerte Systeme weitergegeben werden (Handshake-Prinzip).
Funktionen:
• Reinraumgerechte Schutzverpackung
• Kompatibel mit AMR-/OHT-Systemen
• > 300 FOSBs/FOUPs pro Tag
Integration & Systemtransparenz
Von Insellösung zu integrierter Produktionszelle
In vielen Fertigungen laufen Verpackung und Prüfung noch isoliert – oft manuell, ohne direkte Anbindung an Traceability-Systeme.
Das ABT-System schließt diese Lücke: Es kommuniziert über SECS/GEM direkt mit Ihrem Host-System und überträgt alle Prüfergebnisse, Etikettierdaten und Behälter-IDs automatisiert. So entsteht eine integrierte, dokumentierte Verpackungszelle – ohne Mehraufwand für Ihr Team.
Remote Bild- und Videoüberwachung sorgen für Entlastung der Operator und maximale Nachverfolgbarkeit jedes Loses.


ABT lässt sich sofort mit vorhandenen Host-Systemen synchronisieren

Entlastung der Operator durch remote Bild- und Videoüberwachung

100% nachvollziehbare Lose für jede FOSB inklusive Datenaufzeichnung

Anpassung an produktionsspezifische Anforderungen
Schritt 4: Verpackung & Übergabe
Standardisiert, hygienisch, automatisiert
Nach bestandener Prüfung wird die Einheit doppelt verpackt. Die Übergabe erfolgt an nachgelagerte Prozesse – ob manuell, per AMR oder vollintegriert in eine bestehende Linie. Alles ohne Unterbrechung, alles dokumentiert. Alle benötigten Informationen können an nachgelagerte Systeme weitergegeben werden (Handshake-Prinzip).
Funktionen:
• Reinraumgerechte Schutzverpackung
• Kompatibel mit AMR-/OHT-Systemen
• > 300 FOSBs/FOUPs pro Tag

Schritt 1: Identifikation & Slot-Verifikation
Jeder Behälter korrekt erkannt und zugeordnet
FOSBs und FOUPs werden per RFID eindeutig identifiziert. Durch integrierte Cross-Slot-Checks erkennt das System fehlerhafte Belegungen oder Slot-Überschneidungen automatisch. So vermeiden Sie Fehlzuweisungen und schützen Ihre Prozessstabilität.
Funktionen:
• RFID-basierte Identifikation
• Cross-Slot-Verifikation für sichere Slot-Belegung
• Datenabgleich mit Host-Systemen
Schritt 2: Dichtheitsprüfung & Kontrolle
100 % geprüft – für höchste Produktsicherheit
Jede Verpackungseinheit wird vor dem nächsten Schritt auf Dichtheit geprüft. Undichtigkeiten werden erkannt und aussortiert – automatisch und dokumentiert. Das sorgt für Partikelschutz und erfüllt die Anforderungen an kontrollierte Umgebungen.
Funktionen:
• Automatisierte Dichtheitsprüfung
• Prüfung gegen produktspezifische Grenzwerte
• Digitale Prüfprotokolle für jedes Handling
Schritt 3: Etikettierung & Rückverfolgbarkeit
Seriennummer, Status, Chargeninfos – automatisch gelabelt
Alle Verpackungseinheiten erhalten ein manipulationssicheres Etikett mit Seriennummer, Zeitstempel und Prüfergebnis. Die Informationen werden digital gespeichert und stehen für MES, ERP oder Auditierung bereit.
Funktionen:
• Automatisches Labeling mit Serien- und Chargennummer
• Tracking der Behälterbewegungen über SECS/GEM
• Konform mit Reinraumvorgaben
Schritt 4: Verpackung & Übergabe
Standardisiert, hygienisch, automatisiert
Nach bestandener Prüfung wird die Einheit doppelt verpackt. Die Übergabe erfolgt an nachgelagerte Prozesse – ob manuell, per AMR oder vollintegriert in eine bestehende Linie. Alles ohne Unterbrechung, alles dokumentiert. Alle benötigten Informationen können an nachgelagerte Systeme weitergegeben werden (Handshake-Prinzip).
Funktionen:
• Reinraumgerechte Schutzverpackung
• Kompatibel mit AMR-/OHT-Systemen
• > 300 FOSBs/FOUPs pro Tag
Schritt 1: Identifikation & Slot-Verifikation
Jeder Behälter korrekt erkannt und zugeordnet
FOSBs und FOUPs werden per RFID eindeutig identifiziert. Durch integrierte Cross-Slot-Checks erkennt das System fehlerhafte Belegungen oder Slot-Überschneidungen automatisch. So vermeiden Sie Fehlzuweisungen und schützen Ihre Prozessstabilität.
Funktionen:
• RFID-basierte Identifikation
• Cross-Slot-Verifikation für sichere Slot-Belegung
• Datenabgleich mit Host-Systemen
Integration & Systemtransparenz
Von Insellösung zu integrierter Produktionszelle
In vielen Fertigungen laufen Verpackung und Prüfung noch isoliert – oft manuell, ohne direkte Anbindung an Traceability-Systeme.
Das ABT-System schließt diese Lücke: Es kommuniziert über SECS/GEM direkt mit Ihrem Host-System und überträgt alle Prüfergebnisse, Etikettierdaten und Behälter-IDs automatisiert. So entsteht eine integrierte, dokumentierte Verpackungszelle – ohne Mehraufwand für Ihr Team.
Remote Bild- und Videoüberwachung sorgen für Entlastung der Operator und maximale Nachverfolgbarkeit jedes Loses.

Optimiert für Ihre Anforderungen
Anpassung an produktionsspezifische Anforderungen

SECS/GEM-Ready
ABT lässt sich sofort mit vorhandenen Host-Systemen synchronisieren
Fokus auf Wertschöpfung
Entlastung der Operator durch remote Bild- und Videoüberwachung
Nachvollziehbarkeit
100% nachvollziehbare Lose für jede FOSB inklusive Datenaufzeichnung
Optimiert für Ihre Anforderungen
Anpassung an produktionsspezifische Anforderungen
SECS/GEM-Ready
ABT lässt sich sofort mit vorhandenen Host-Systemen synchronisieren
Integration & Systemtransparenz
Von Insellösung zu integrierter Produktionszelle
In vielen Fertigungen laufen Verpackung und Prüfung noch isoliert – oft manuell, ohne direkte Anbindung an Traceability-Systeme.
Das ABT-System schließt diese Lücke: Es kommuniziert über SECS/GEM direkt mit Ihrem Host-System und überträgt alle Prüfergebnisse, Etikettierdaten und Behälter-IDs automatisiert. So entsteht eine integrierte, dokumentierte Verpackungszelle – ohne Mehraufwand für Ihr Team.
Remote Bild- und Videoüberwachung sorgen für Entlastung der Operator und maximale Nachverfolgbarkeit jedes Loses.

Optimiert für Ihre Anforderungen
Anpassung an produktionsspezifische Anforderungen

SECS/GEM-Ready
ABT lässt sich sofort mit vorhandenen Host-Systemen synchronisieren
Fokus auf Wertschöpfung
Entlastung der Operator durch remote Bild- und Videoüberwachung
Nachvollziehbarkeit
100% nachvollziehbare Lose für jede FOSB inklusive Datenaufzeichnung
Optimiert für Ihre Anforderungen
Anpassung an produktionsspezifische Anforderungen
SECS/GEM-Ready
ABT lässt sich sofort mit vorhandenen Host-Systemen synchronisieren
So setzen wir neue Standards im FOSB & FOUP Packing.
Während viele Wettbewerber noch auf teilautomatisierte Systeme setzen, bei denen kritische Prüf- und Verpackungsschritte manuell unterstützt werden müssen, bietet das ABT-System einen durchgängig geschlossenen, digital integrierten Prozess.
Von der Slot-Verifikation über die Dichtheitsprüfung bis zur dokumentierten Etikettierung arbeitet ABT vollautomatisch – und vermeidet so genau die Fehlerquellen, die in anderen Linien täglich für Nacharbeit, Ausschuss oder Produktionsstillstände sorgen.
Das Ergebnis: ein verlässlicher, validierter Verpackungsprozess, der Ihre Reinraumstandards schützt und Ihre Linie entlastet – rund um die Uhr.
So setzen wir neue Standards im FOSB & FOUP Packing.
Während viele Wettbewerber noch auf teilautomatisierte Systeme setzen, bei denen kritische Prüf- und Verpackungsschritte manuell unterstützt werden müssen, bietet das ABT-System einen durchgängig geschlossenen, digital integrierten Prozess.
Von der Slot-Verifikation über die Dichtheitsprüfung bis zur dokumentierten Etikettierung arbeitet ABT vollautomatisch – und vermeidet so genau die Fehlerquellen, die in anderen Linien täglich für Nacharbeit, Ausschuss oder Produktionsstillstände sorgen.
Das Ergebnis: ein verlässlicher, validierter Verpackungsprozess, der Ihre Reinraumstandards schützt und Ihre Linie entlastet – rund um die Uhr.
So setzen wir neue Standards im FOSB & FOUP Packing.
Während viele Wettbewerber noch auf teilautomatisierte Systeme setzen, bei denen kritische Prüf- und Verpackungsschritte manuell unterstützt werden müssen, bietet das ABT-System einen durchgängig geschlossenen, digital integrierten Prozess.
Von der Slot-Verifikation über die Dichtheitsprüfung bis zur dokumentierten Etikettierung arbeitet ABT vollautomatisch – und vermeidet so genau die Fehlerquellen, die in anderen Linien täglich für Nacharbeit, Ausschuss oder Produktionsstillstände sorgen.
Das Ergebnis: ein verlässlicher, validierter Verpackungsprozess, der Ihre Reinraumstandards schützt und Ihre Linie entlastet – rund um die Uhr.