FOSB & FOUP Verpackungssystem für Ihre Semiconductor Fab

In der Halbleiterfertigung entscheidet die Verpackung über die Integrität Ihrer Wafer. ABT automatisiert diesen kritischen Prozessschritt vollständig – für reproduzierbare Qualität, Rückverfolgbarkeit und eine Verpackung, die Ihre Produktionsstandards erfüllt.


Ob FOSBs, FOUPs aber auch andere Carrier wie Wafer-Boxen, SFS, HWS – das ABT-System ist flexibel anpassbar und bietet ein sicheres, validiertes Handling auch bei wachsendem Durchsatz und steigenden Reinraumanforderungen.


Die kompakte Bauweise, kombiniert mit präziser Prüf- und Etikettiertechnologie, macht ABT zu einer zukunftsfähigen Lösung für moderne Packing-Prozesse.

Eine Packung mit Silicium Wafern in einer Maschine.

FOSB & FOUP Verpackungssystem für Ihre Semiconductor Fab

In der Halbleiterfertigung entscheidet die Verpackung über die Integrität Ihrer Wafer. ABT automatisiert diesen kritischen Prozessschritt vollständig – für reproduzierbare Qualität, Rückverfolgbarkeit und eine Verpackung, die Ihre Produktionsstandards erfüllt.


Ob FOSBs, FOUPs aber auch andere Carrier wie Wafer-Boxen, SFS, HWS – das ABT-System ist flexibel anpassbar und bietet ein sicheres, validiertes Handling auch bei wachsendem Durchsatz und steigenden Reinraumanforderungen.


Die kompakte Bauweise, kombiniert mit präziser Prüf- und Etikettiertechnologie, macht ABT zu einer zukunftsfähigen Lösung für moderne Packing-Prozesse.

Eine Packung mit Silicium Wafern in einer Maschine.
Ein blaues Symbol aus einem Quadrat mit Rissen und einem Dreieck mit einem Ausrufezeichen.

100% Dichtheitsprüfung der Schweißnaht der Verpackung

Ein Symbol einer Stoppuhr und eines Flussdiagramms.

Minimale Zykluszeiten für min.  300 FOSBs / Tag

Eine Strichzeichnung einer Checkliste und eines Häkchens.

Präzise Qualitätskontrollen unter anderem durch Cross-Slot-Checks

Ein Häkchen in einem Kreis mit zwei Pfeilen, die in entgegengesetzte Richtungen zeigen.

Synchronisation zu Host-Systemen durch SECS / GEM


Ein blaues Symbol aus einem Quadrat mit Rissen und einem Dreieck mit einem Ausrufezeichen.

100% Luftdicht & Sauber

100% Dichtheitsprüfung der Schweißnaht der Verpackung

Ein Symbol einer Stoppuhr und eines Flussdiagramms.

Höherer Durchsatz

Minimale Zykluszeiten für min.  300 FOSBs / Tag

Eine Strichzeichnung einer Checkliste und eines Häkchens.

Reinraum-Compliance

Präzise Qualitätskontrollen unter anderem durch Cross-Slot-Checks

Ein Häkchen in einem Kreis mit zwei Pfeilen, die in entgegengesetzte Richtungen zeigen.

Maximale Nachvollziehbarkeit

Synchronisation zu Host-Systemen durch SECS / GEM

FOSB & FOUP Verpackungssystem für Ihre Semiconductor Fab

In der Halbleiterfertigung entscheidet die Verpackung über die Integrität Ihrer Wafer. ABT automatisiert diesen kritischen Prozessschritt vollständig – für reproduzierbare Qualität, Rückverfolgbarkeit und eine Verpackung, die Ihre Produktionsstandards erfüllt.


Ob FOSBs, FOUPs aber auch andere Carrier wie Wafer-Boxen, SFS, HWS – das ABT-System ist flexibel anpassbar und bietet ein sicheres, validiertes Handling auch bei wachsendem Durchsatz und steigenden Reinraumanforderungen.


Die kompakte Bauweise, kombiniert mit präziser Prüf- und Etikettiertechnologie, macht ABT zu einer zukunftsfähigen Lösung für moderne Packing-Prozesse.

Eine Packung mit Silicium Wafern in einer Maschine.

100% Luftdicht und sauber

100% Dichtheitsprüfung der Schweißnaht der Verpackung

Höherer Durchsatz

Minimale Zykluszeiten für min. 300 FOSBs / Tag

Reinraum-Compliance

Präzise Qualitätskontrollen unter anderem durch Cross-Slot-Checks

Maximale Nachvollziehbarkeit

Synchronisation zu Host-Systemen durch SECS / GEM

FOSB & FOUP Packing: Schritt für Schritt zur automatisierten Perfektion



FOSB & FOUP Packing: Schritt für Schritt zur automatisierten Perfektion

Eine Nahaufnahme einer Maschine in einem Labor, auf die ein Licht scheint.

Schritt 1: Identifikation & Slot-Verifikation

Jeder Behälter korrekt erkannt und zugeordnet

FOSBs und FOUPs werden per RFID eindeutig identifiziert. Durch integrierte Cross-Slot-Checks erkennt das System fehlerhafte Belegungen oder Slot-Überschneidungen automatisch. So vermeiden Sie Fehlzuweisungen und schützen Ihre Prozessstabilität.


Funktionen:

• RFID-basierte Identifikation

• Cross-Slot-Verifikation für sichere Slot-Belegung

• Datenabgleich mit Host-Systemen

Schritt 2: Dichtheitsprüfung & Kontrolle

100 % geprüft – für höchste Produktsicherheit

Jede Verpackungseinheit wird vor dem nächsten Schritt auf Dichtheit geprüft. Undichtigkeiten werden erkannt und aussortiert – automatisch und dokumentiert. Das sorgt für Partikelschutz und erfüllt die Anforderungen an kontrollierte Umgebungen.


Funktionen:

• Automatisierte Dichtheitsprüfung

• Prüfung gegen produktspezifische Grenzwerte

• Digitale Prüfprotokolle für jedes Handling

Schritt 3: Etikettierung & Rückverfolgbarkeit

Seriennummer, Status, Chargeninfos – automatisch gelabelt

Alle Verpackungseinheiten erhalten ein manipulationssicheres Etikett mit Seriennummer, Zeitstempel und Prüfergebnis. Die Informationen werden digital gespeichert und stehen für MES, ERP oder Auditierung bereit.


Funktionen:

• Automatisches Labeling mit Serien- und Chargennummer

• Tracking der Behälterbewegungen über SECS/GEM

• Konform mit Reinraumvorgaben

Schritt 4: Verpackung & Übergabe

Standardisiert, hygienisch, automatisiert

Nach bestandener Prüfung wird die Einheit doppelt verpackt. Die Übergabe erfolgt an nachgelagerte Prozesse – ob manuell, per AMR oder vollintegriert in eine bestehende Linie. Alles ohne Unterbrechung, alles dokumentiert. Alle benötigten Informationen können an nachgelagerte Systeme weitergegeben werden (Handshake-Prinzip).


Funktionen:

• Reinraumgerechte Schutzverpackung

• Kompatibel mit AMR-/OHT-Systemen

• > 300 FOSBs/FOUPs pro Tag

Eine Nahaufnahme einer Maschine in einem Labor, auf die ein Licht scheint.

Schritt 1: Identifikation & Slot-Verifikation

Jeder Behälter korrekt erkannt und zugeordnet

FOSBs und FOUPs werden per RFID eindeutig identifiziert. Durch integrierte Cross-Slot-Checks erkennt das System fehlerhafte Belegungen oder Slot-Überschneidungen automatisch. So vermeiden Sie Fehlzuweisungen und schützen Ihre Prozessstabilität.


Funktionen:

• RFID-basierte Identifikation

• Cross-Slot-Verifikation für sichere Slot-Belegung

• Datenabgleich mit Host-Systemen

Schritt 2: Dichtheitsprüfung & Kontrolle

100 % geprüft – für höchste Produktsicherheit

Jede Verpackungseinheit wird vor dem nächsten Schritt auf Dichtheit geprüft. Undichtigkeiten werden erkannt und aussortiert – automatisch und dokumentiert. Das sorgt für Partikelschutz und erfüllt die Anforderungen an kontrollierte Umgebungen.


Funktionen:

• Automatisierte Dichtheitsprüfung

• Prüfung gegen produktspezifische Grenzwerte

• Digitale Prüfprotokolle für jedes Handling

Schritt 3: Etikettierung & Rückverfolgbarkeit

Seriennummer, Status, Chargeninfos – automatisch gelabelt

Alle Verpackungseinheiten erhalten ein manipulationssicheres Etikett mit Seriennummer, Zeitstempel und Prüfergebnis. Die Informationen werden digital gespeichert und stehen für MES, ERP oder Auditierung bereit.


Funktionen:

• Automatisches Labeling mit Serien- und Chargennummer

• Tracking der Behälterbewegungen über SECS/GEM

• Konform mit Reinraumvorgaben

Schritt 4: Verpackung & Übergabe

Standardisiert, hygienisch, automatisiert

Nach bestandener Prüfung wird die Einheit doppelt verpackt. Die Übergabe erfolgt an nachgelagerte Prozesse – ob manuell, per AMR oder vollintegriert in eine bestehende Linie. Alles ohne Unterbrechung, alles dokumentiert. Alle benötigten Informationen können an nachgelagerte Systeme weitergegeben werden (Handshake-Prinzip).


Funktionen:

• Reinraumgerechte Schutzverpackung

• Kompatibel mit AMR-/OHT-Systemen

• > 300 FOSBs/FOUPs pro Tag


Integration & Systemtransparenz

Von Insellösung zu integrierter Produktionszelle

In vielen Fertigungen laufen Verpackung und Prüfung noch isoliert – oft manuell, ohne direkte Anbindung an Traceability-Systeme.


Das ABT-System schließt diese Lücke: Es kommuniziert über SECS/GEM direkt mit Ihrem Host-System und überträgt alle Prüfergebnisse, Etikettierdaten und Behälter-IDs automatisiert. So entsteht eine integrierte, dokumentierte Verpackungszelle – ohne Mehraufwand für Ihr Team.


Remote Bild- und Videoüberwachung sorgen für Entlastung der Operator und maximale Nachverfolgbarkeit jedes Loses.

Eine Anlage zur Verpackung von Silicium Wafern.
Eine Strichzeichnung von drei miteinander verbundenen Puzzleteilen auf einem weißen Hintergrund.

ABT lässt sich sofort mit vorhandenen Host-Systemen synchronisieren

Ein Symbol einer Stoppuhr und eines Flussdiagramms.

Entlastung der Operator durch remote Bild- und Videoüberwachung

Eine Strichzeichnung von Pfeilen, Zahnrädern und einer Uhr.

100% nachvollziehbare Lose für jede FOSB inklusive Datenaufzeichnung

Drei in verschiedene Richtungen zeigende Pfeile mit einem Kreis in der Mitte.

Anpassung an produktionsspezifische Anforderungen

Schritt 4: Verpackung & Übergabe

Standardisiert, hygienisch, automatisiert

Nach bestandener Prüfung wird die Einheit doppelt verpackt. Die Übergabe erfolgt an nachgelagerte Prozesse – ob manuell, per AMR oder vollintegriert in eine bestehende Linie. Alles ohne Unterbrechung, alles dokumentiert. Alle benötigten Informationen können an nachgelagerte Systeme weitergegeben werden (Handshake-Prinzip).


Funktionen:

• Reinraumgerechte Schutzverpackung

• Kompatibel mit AMR-/OHT-Systemen

• > 300 FOSBs/FOUPs pro Tag

Eine Nahaufnahme einer Maschine in einem Labor, auf die ein Licht scheint.

Schritt 1: Identifikation & Slot-Verifikation

Jeder Behälter korrekt erkannt und zugeordnet

FOSBs und FOUPs werden per RFID eindeutig identifiziert. Durch integrierte Cross-Slot-Checks erkennt das System fehlerhafte Belegungen oder Slot-Überschneidungen automatisch. So vermeiden Sie Fehlzuweisungen und schützen Ihre Prozessstabilität.


Funktionen:

• RFID-basierte Identifikation

• Cross-Slot-Verifikation für sichere Slot-Belegung

• Datenabgleich mit Host-Systemen

Schritt 2: Dichtheitsprüfung & Kontrolle

100 % geprüft – für höchste Produktsicherheit

Jede Verpackungseinheit wird vor dem nächsten Schritt auf Dichtheit geprüft. Undichtigkeiten werden erkannt und aussortiert – automatisch und dokumentiert. Das sorgt für Partikelschutz und erfüllt die Anforderungen an kontrollierte Umgebungen.


Funktionen:

• Automatisierte Dichtheitsprüfung

• Prüfung gegen produktspezifische Grenzwerte

• Digitale Prüfprotokolle für jedes Handling

Schritt 3: Etikettierung & Rückverfolgbarkeit

Seriennummer, Status, Chargeninfos – automatisch gelabelt

Alle Verpackungseinheiten erhalten ein manipulationssicheres Etikett mit Seriennummer, Zeitstempel und Prüfergebnis. Die Informationen werden digital gespeichert und stehen für MES, ERP oder Auditierung bereit.


Funktionen:

• Automatisches Labeling mit Serien- und Chargennummer

• Tracking der Behälterbewegungen über SECS/GEM

• Konform mit Reinraumvorgaben

Schritt 4: Verpackung & Übergabe

Standardisiert, hygienisch, automatisiert

Nach bestandener Prüfung wird die Einheit doppelt verpackt. Die Übergabe erfolgt an nachgelagerte Prozesse – ob manuell, per AMR oder vollintegriert in eine bestehende Linie. Alles ohne Unterbrechung, alles dokumentiert. Alle benötigten Informationen können an nachgelagerte Systeme weitergegeben werden (Handshake-Prinzip).


Funktionen:

• Reinraumgerechte Schutzverpackung

• Kompatibel mit AMR-/OHT-Systemen

• > 300 FOSBs/FOUPs pro Tag

Schritt 1: Identifikation & Slot-Verifikation

Jeder Behälter korrekt erkannt und zugeordnet

FOSBs und FOUPs werden per RFID eindeutig identifiziert. Durch integrierte Cross-Slot-Checks erkennt das System fehlerhafte Belegungen oder Slot-Überschneidungen automatisch. So vermeiden Sie Fehlzuweisungen und schützen Ihre Prozessstabilität.


Funktionen:

• RFID-basierte Identifikation

• Cross-Slot-Verifikation für sichere Slot-Belegung

• Datenabgleich mit Host-Systemen


Integration & Systemtransparenz

Von Insellösung zu integrierter Produktionszelle

In vielen Fertigungen laufen Verpackung und Prüfung noch isoliert – oft manuell, ohne direkte Anbindung an Traceability-Systeme.


Das ABT-System schließt diese Lücke: Es kommuniziert über SECS/GEM direkt mit Ihrem Host-System und überträgt alle Prüfergebnisse, Etikettierdaten und Behälter-IDs automatisiert. So entsteht eine integrierte, dokumentierte Verpackungszelle – ohne Mehraufwand für Ihr Team.


Remote Bild- und Videoüberwachung sorgen für Entlastung der Operator und maximale Nachverfolgbarkeit jedes Loses.

Eine Anlage zur Verpackung von Silicium Wafern.

Optimiert für Ihre Anforderungen

Anpassung an produktionsspezifische Anforderungen

Eine Strichzeichnung von drei miteinander verbundenen Puzzleteilen.

SECS/GEM-Ready

ABT lässt sich sofort mit vorhandenen Host-Systemen synchronisieren

Fokus auf Wertschöpfung

Entlastung der Operator durch remote Bild- und Videoüberwachung

Nachvollziehbarkeit

100% nachvollziehbare Lose für jede FOSB inklusive Datenaufzeichnung

Optimiert für Ihre Anforderungen

Anpassung an produktionsspezifische Anforderungen

SECS/GEM-Ready

ABT lässt sich sofort mit vorhandenen Host-Systemen synchronisieren


Integration & Systemtransparenz

Von Insellösung zu integrierter Produktionszelle

In vielen Fertigungen laufen Verpackung und Prüfung noch isoliert – oft manuell, ohne direkte Anbindung an Traceability-Systeme.


Das ABT-System schließt diese Lücke: Es kommuniziert über SECS/GEM direkt mit Ihrem Host-System und überträgt alle Prüfergebnisse, Etikettierdaten und Behälter-IDs automatisiert. So entsteht eine integrierte, dokumentierte Verpackungszelle – ohne Mehraufwand für Ihr Team.


Remote Bild- und Videoüberwachung sorgen für Entlastung der Operator und maximale Nachverfolgbarkeit jedes Loses.

Eine Anlage zur Verpackung von Silicium Wafern.

Optimiert für Ihre Anforderungen

Anpassung an produktionsspezifische Anforderungen

Eine Strichzeichnung von drei miteinander verbundenen Puzzleteilen.

SECS/GEM-Ready

ABT lässt sich sofort mit vorhandenen Host-Systemen synchronisieren

Fokus auf Wertschöpfung

Entlastung der Operator durch remote Bild- und Videoüberwachung

Nachvollziehbarkeit

100% nachvollziehbare Lose für jede FOSB inklusive Datenaufzeichnung

Optimiert für Ihre Anforderungen

Anpassung an produktionsspezifische Anforderungen

SECS/GEM-Ready

ABT lässt sich sofort mit vorhandenen Host-Systemen synchronisieren


So setzen wir neue Standards im FOSB & FOUP Packing.

Während viele Wettbewerber noch auf teilautomatisierte Systeme setzen, bei denen kritische Prüf- und Verpackungsschritte manuell unterstützt werden müssen, bietet das ABT-System einen durchgängig geschlossenen, digital integrierten Prozess.


Von der Slot-Verifikation über die Dichtheitsprüfung bis zur dokumentierten Etikettierung arbeitet ABT vollautomatisch – und vermeidet so genau die Fehlerquellen, die in anderen Linien täglich für Nacharbeit, Ausschuss oder Produktionsstillstände sorgen.


Das Ergebnis: ein verlässlicher, validierter Verpackungsprozess, der Ihre Reinraumstandards schützt und Ihre Linie entlastet – rund um die Uhr.


So setzen wir neue Standards im FOSB & FOUP Packing.

Während viele Wettbewerber noch auf teilautomatisierte Systeme setzen, bei denen kritische Prüf- und Verpackungsschritte manuell unterstützt werden müssen, bietet das ABT-System einen durchgängig geschlossenen, digital integrierten Prozess.


Von der Slot-Verifikation über die Dichtheitsprüfung bis zur dokumentierten Etikettierung arbeitet ABT vollautomatisch – und vermeidet so genau die Fehlerquellen, die in anderen Linien täglich für Nacharbeit, Ausschuss oder Produktionsstillstände sorgen.


Das Ergebnis: ein verlässlicher, validierter Verpackungsprozess, der Ihre Reinraumstandards schützt und Ihre Linie entlastet – rund um die Uhr.


So setzen wir neue Standards im FOSB & FOUP Packing.

Während viele Wettbewerber noch auf teilautomatisierte Systeme setzen, bei denen kritische Prüf- und Verpackungsschritte manuell unterstützt werden müssen, bietet das ABT-System einen durchgängig geschlossenen, digital integrierten Prozess.


Von der Slot-Verifikation über die Dichtheitsprüfung bis zur dokumentierten Etikettierung arbeitet ABT vollautomatisch – und vermeidet so genau die Fehlerquellen, die in anderen Linien täglich für Nacharbeit, Ausschuss oder Produktionsstillstände sorgen.


Das Ergebnis: ein verlässlicher, validierter Verpackungsprozess, der Ihre Reinraumstandards schützt und Ihre Linie entlastet – rund um die Uhr.